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光切显微镜以光切原理为基础，能解决工件表面微小峰谷深度的测量问题，测量表面粗糙度的专用仪器之一，光切显微镜一般测量RZ值大于0.8μm的工件，本文主要解决在使用光切显微镜时，首先要解决的问题一定度难的问题。
关于光切显微镜的定度
【摘 要】
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光切显微镜以光切原理为基础，能解决工件表面微小峰谷深度的测量问题，测量表面粗糙度的专用仪器之一，光切显微镜一般测量RZ值大于0.8μm的工件，本文主要解决在使用光切显微镜时，首
【机 构】
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嘉兴市计量检定测试所长度室
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2002年5期
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