低维纳米材料相对于传统材料因其独特的物理化学性能已经成为研究热点.其制备方法主要有气相沉积法、电化学沉积法、模板法和聚焦电子束诱导沉积法等.所谓聚焦电子束诱导沉积法是指将电子束汇聚到几纳米区域的基材上,同时注入适当气氛,进而在基材上生成纳米线、纳米锥、纳米棒和纳米点等低维纳米材料的方法.其原理是聚焦电子束直接将能量传递到几纳米尺寸基材上,破坏了基材和气体分子各自的化学键,进而生长出低维纳米材料,而且通常是非晶态结构.相对于其他方法而言,聚焦电子束诱导沉积法的特点是更易于制备几纳米量级的小尺寸材料,且可控性好.生长位置、方向、尺寸和形状都可以得到很好的控制,成分也可由基材和气氛控制.然而,其气体注入设备限制了此方法的广泛使用.本文将介绍无气体注入情况下利用聚焦电子束辐照铜锆非晶合金基材制备单晶纳米棒。