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对钽表面渗氮的固－气界面反应过程进行了热力学和动力学分析，从到理论预测了各种参数（压力、气体、组成、温度、电参数等）对表面过程的影响，并借助于等离子体，在较你廿获得由层与Ｎ在ＴＡ中的固溶体组成的表面硬化层，层为六方晶系的Ｔａ６Ｎ２，５７和／或非昌态。通过调整工艺参数有效地抑制了钽表面氧的渗入和Ｔａ２Ｏ５的形成，使得离子渗氮后，仍保持较低的表面粗糙度。