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用电容法测量零件表面光洁度

来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：astolzq

【摘 要】

：

<正> 用测量位移的电容测微仪测量光洁度还是一个新课题。我们在应用电容测微仪测量金属工件过程中,一直把被测量表面的光洁度影响作为定值系统误差。但经分析后,发现测量位

【作 者】

：

侯文郁 郑义中 

【机 构】

：

天津大学精仪系,天津大学精仪系,

【出 处】

：

新技术新工艺

【发表日期】

：

1985年03期

【关键词】

：

传感器 电容测微仪 测量位移 理想平面 零件表面 电容法 

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<正> 用测量位移的电容测微仪测量光洁度还是一个新课题。我们在应用电容测微仪测量金属工件过程中,一直把被测量表面的光洁度影响作为定值系统误差。但经分析后,发现测量位移的电容测微仪也能测量光洁度,并具有一定的特点。现将我们研究的成果介绍如下。

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