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离子束溅射制备氧化物薄膜沉积速率调整方法

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sinox2006

【作 者】

：

刘华松 傅翾 季一勤 张锋 陈德应 姜玉刚 刘丹丹 王利栓 冷健 

【出 处】

：

红外与激光工程

【发表日期】

：

2014年07期

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