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主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.
电子束投影曝光装置实验结果分析
【摘 要】
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主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院物理所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年3期
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