论文部分内容阅读
微纳系统是特征尺度为微米、纳米的微型器件或系统,微米、纳米肉眼几不可见,但这方寸之地却孕育着极大的创新机遇。微纳系统这一革命性的新技术,被广泛应用于航空航天、手机和消费电子、汽车、生物医疗、工业自动化、物联网、智能制造等众多领域:喷墨打印机里的微喷头、汽车安全气囊里的微加速度计、医学上测量血压的微压力传感器、投影仪里的数字微镜芯片、计算机网络中的微光交换系统……它们虽体量微小,却在精准、迅速而深刻改变着我们的生活。