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多层悬臂梁MEMS器件具有广泛的应用,其吸合电压对器件性能有重要影响.通过选取合适的挠度试函数,并考虑多层悬臂梁中的绝缘层对等效间隙高度的影响,运用能量法分析了多层悬臂梁在静电作用下的弯曲情况.推导出了梁在发生吸合现象时,其自由端归一化的挠度值和对应的吸合电压的解析表达式.用Coventor软件中的CoSolveEM模块验证所得公式,表明模型具有较高的精度.所得结论对静电执行结构设计具有一定的参考价值.