【摘 要】
：
随着集成电路芯片的发展，生产物理和化学性质均一的高分子光阻剂得到了各信息产业国的重视。到目前为止，含对羟基苯乙烯基的高分子光阻剂已成为光刻蚀0．11μm线宽芯片的关键技术
【机 构】
：
四川大学高分子材料科学与工程学院成都610065
论文部分内容阅读
随着集成电路芯片的发展，生产物理和化学性质均一的高分子光阻剂得到了各信息产业国的重视。到目前为止，含对羟基苯乙烯基的高分子光阻剂已成为光刻蚀0．11μm线宽芯片的关键技术。本文综述了目前合成窄分布的含对羟基苯乙烯基的高分子光阻剂的各种方法，在此基础上比较了各种合成方法的优缺点，为合成窄分布的含对羟基苯乙烯基的高分子光阻剂提供了必要的指导。
其他文献
目的:探讨在跟腱末端病的治疗中火针对跟腱止点处IL-6与iNOS阳性细胞表达的影响。方法:将88只1月龄雄性SD大鼠随机分为正常组(8只)和造模组(80只)。采用电击跳跃法对造模组大
随着现代化工业技术的发展,计算机控制技术在机械自动化生产中的应用越来越普及。计算机控制技术是计算机技术和控制技术相结合的一种新兴技术,计算机集成控制制造系统是现代
我们认为流动性只是A股上涨的诸多条件中的一个,但它远远不是过去一年股市上涨的主要动力。过去一年股市上涨的原因有许多,如股改的成功、公司治理的改善、市场信心的恢复,甚
调查了广东省特呈岛整片退化红树林的林窗大小结构、形成方式、形成木林窗特征及边界木特征等。结果表明：该地区林窗主要以小型面积林窗为主,形状大多数近似于椭圆形,林窗平均
草原是农牧民群众赖以生存的重要资源,构建完善的草原生态保护系统,对促进草原畜牧业健康可持续发展,改善农民群众经济收入水平有着十分重要的作用。实现草原畜牧业的可持续
榆中县是全国无公害蔬菜生产示范基地县，是兰州高原夏菜的主产区。境内按自然地貌分为川区、南山和北山三种不同类型的气候区域，年均降雨量400mm，年均气温7℃，无霜期120d左右，光照
一西席·地密尔(Cecil B.DeMille)是好莱坞著名电影导演,1949年之前曾有多部电影在中国公映,《十诫》《党人魂》等均成为现象级影片,报章中"全美第一名导演"等赞美之词频
中油国际（苏丹）炼油有限公司的400 kt/a连续重整装置再生系统采用IFP连续再生工艺,为了将再生后氧化态的催化剂还原,再生单元还原氢气采用纯度为92.0%（体积分数,下同）的重整自产
“姑娘们,尽情享受自我吧!”阿里巴巴集团董事局主席马云在5月20日举行的全球女性创业者大会上说,“越来越多的女性正走上传统由男性主导的舞台,女性创业者大会是阿里第一次
价值链战略联盟对联盟内部企业采购成本控制影响是多方面的,将成本控制上升到战略层面,影响供需双方的关系,影响采购的产品,供应商对采购需求的响应、采购成功的价格外延、采