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NH3等离子体预处理对PECVD产生的TiN涂层性能的影响

来源 :等离子体应用技术快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a75838928

【作 者】

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乐天 

【出 处】

：

等离子体应用技术快报

【发表日期】

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2000年11期

【关键词】

：

氨等离子体预处理 PECVD 氮化钛涂层 高速钢 

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