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<正> 与注磷相比,五价的砷元素作为施主杂质注入半导体材料硅中,具有许多独特的优点:(1)固溶度高;(2)投影射程小,可以得到较浅的p-n结;(3)有可能通过人为控制,使砷扩散后的浓度分布趋于对发射极有利的矩形分布;(4)引起的损伤较浅,只要适
用背散射方法研究砷离子注入单晶硅的分布和热退火后的再分布
【摘 要】
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<正> 与注磷相比,五价的砷元素作为施主杂质注入半导体材料硅中,具有许多独特的优点:(1)固溶度高;(2)投影射程小,可以得到较浅的p-n结;(3)有可能通过人为控制,使砷扩散后的浓
【机 构】
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北京师范大学低能核物理所,北京师范大学低能核物理所,中国科学院原子能研究所
【出 处】
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北京师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1983年2期
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