多晶硅生产企业本质安全化设计的探讨

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叙述了多晶硅生产线设计和建设中进行本质安全化设计的必要性。通过分析可行性研究、工艺设计、初步设计、施工图设计等各阶段本质安全化设计的目标和方法,探索了多晶硅生产工艺研发中的本质安全化设计策略,提出了多晶硅生产过程的本质安全化设计流程。
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