【摘 要】
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用以确定细晶陶瓷缺陷尺寸的超声标准块的标准缺陷极小,其形状和表面不规则性必须精确测定。激光扫描显微镜能测量标准缺陷的深、宽和表面不规则性。试样表而无须预处理,即可
【机 构】
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日本东京工程大学,日本东京工程大学
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用以确定细晶陶瓷缺陷尺寸的超声标准块的标准缺陷极小,其形状和表面不规则性必须精确测定。激光扫描显微镜能测量标准缺陷的深、宽和表面不规则性。试样表而无须预处理,即可观察到分辨力为0.3μm的标准缺陷三维图象。磁粉检验用的参考缺陷也可用此法测量。在评估确定缺陷尺寸用的标准块和参考块时,激光扫描显微镜是一种很有用的工具。
The standard defects of the ultrasound standard block used to determine the size of fine-grained ceramic defects are extremely small and their shape and surface irregularity must be accurately determined. Laser scanning microscopy can measure the depth, width and surface irregularities of standard defects. Sample table without pretreatment, you can see the resolution of 0.3μm standard defect three-dimensional images. Reference defects used in magnetic particle testing can also be measured by this method. Laser scanning microscopy is a useful tool when evaluating standard and reference blocks for determining defect size.
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