基于形状记忆合金的微小型光热驱动马达

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在分析了形状记忆合金双程记忆效应原理的基础上,采用铜锌铝双向记忆合金片,设计并加工制作了两种微小型光热驱动马达,对其进行了驱动实验研究。研究结果表明,用输出波长为1064nm的YAG脉冲激光作为光热驱动马达的驱动源,在适当的输出功率和频率下,棘轮棘爪型光热驱动马达可获得较精确的步距,齿轮传动型光热驱动马达可获得较高的转速。这类用激光作为驱动源的微小型光热驱动马达易于小型化,真正实现无线遥控,有望在微光机电系统获得广泛应用。
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