空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO2薄膜(下)

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图4a和4b分别为在UV-近红外光谱,刚沉积和经后退火工艺两种情况下的TiO2膜.以上两种情况在可见光区域透射比几乎相同,与后退火无关.O2流量为10 ~ 50 sccm时,沉积的TiO2膜在可见光区域具有的高透射比约为0.70.
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