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空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO2薄膜(下)
空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO2薄膜(下)
来源 :太阳能 | 被引量 : 0次 | 上传用户:same786
【摘 要】
:
图4a和4b分别为在UV-近红外光谱,刚沉积和经后退火工艺两种情况下的TiO2膜.以上两种情况在可见光区域透射比几乎相同,与后退火无关.O2流量为10 ~ 50 sccm时,沉积的TiO2膜在可
【作 者】
:
Yoshiyuki Kubo
Yoshinori Iwabu
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
太阳能
【发表日期】
:
2014年10期
【关键词】
:
空心阴极
气流
溅射法
快速沉积
高活性
光催化作用
薄膜
sputtering method
可见光区域
透射比
后退火工艺
近红外光谱
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图4a和4b分别为在UV-近红外光谱,刚沉积和经后退火工艺两种情况下的TiO2膜.以上两种情况在可见光区域透射比几乎相同,与后退火无关.O2流量为10 ~ 50 sccm时,沉积的TiO2膜在可见光区域具有的高透射比约为0.70.
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