【摘 要】
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直线音圈电机驱动定位平台可避免机械耦合环节的引入,但其产生的振动将引起末端平台的响应,从而影响末端定位平台的定位精度.文中采用一种被动减振结构——浮动定子,与传统直
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51705217),国家重点研发计划(2018YFC0309103),江苏省产学研项目(BE2016009-2)
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直线音圈电机驱动定位平台可避免机械耦合环节的引入,但其产生的振动将引起末端平台的响应,从而影响末端定位平台的定位精度.文中采用一种被动减振结构——浮动定子,与传统直线电机相比,浮动定子音圈电机可有效抑制惯性反冲力引起的振动,从而削弱前端振动对末端定位平台的影响.采用数字信号处理(programmable multi axis controller,PMAC)运动控制卡实现平台的运动控制,通过切换控制(PID与模糊控制的切换)实现运动平台的精密定位.实验结果表明:浮动定子类末端平台的振动相对减小,同时切换控
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