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从微电子到“活动的硅”——系统集成的未来潜力
从微电子到“活动的硅”——系统集成的未来潜力
来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lqtanj
【摘 要】
:
本文主要介绍微电子发展趋势、微电子与微机械结合、系统集成的未来潜力.
【作 者】
:
盛水源
【机 构】
:
信息产业部电子科技情报所
【出 处】
:
微电子技术
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
微电子
趋势
微机械
系统集成
Microelectronics Trend Micro-mechanics System integration
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本文主要介绍微电子发展趋势、微电子与微机械结合、系统集成的未来潜力.
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