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为了克服几何形状（曲率效应）造成的边角电场对平面扩散结击穿性能的劣化效应,对应于静电感应器件的复合结构,采用限场环与切断环作为终端造型,使结边界处的耗尽层宽度反窄化效应而展宽,以分散电力线并降低表面电场。
复合结构静电感应晶体管的终端造型
【摘 要】
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为了克服几何形状（曲率效应）造成的边角电场对平面扩散结击穿性能的劣化效应,对应于静电感应器件的复合结构,采用限场环与切断环作为终端造型,使结边界处的耗尽层宽度反窄化效
【机 构】
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西安邮电学院电子工程学院,兰州大学微电子研究所
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2011年25期
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