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介绍利用硅的各向异性腐蚀工艺腐蚀出的一种双E形结构非整体结构弹性膜硅芯片及用此芯片封装成的压力敏感元件。借助于这种硅芯片与不同厚度的封孔膜结合，制成了灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器。
双E形结构硅压力传感器的研制
【摘 要】
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介绍利用硅的各向异性腐蚀工艺腐蚀出的一种双E形结构非整体结构弹性膜硅芯片及用此芯片封装成的压力敏感元件。借助于这种硅芯片与不同厚度的封孔膜结合，制成了灵敏度和量程
【机 构】
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湖南吉首大学物理与电子工程系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年1期
其他文献
目的：提高手术室护士对职业危害因素的认识，保证手术室护士的职业安全。方法：通过临床观察及查阅资料进行分析、归纳和总结。结果：手术室护士的职业危害共有7种，并提出相应的防护