多晶硅生产中废气的处理方法

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介绍了改良西门子法生产多晶硅过程中废气的来源和组成,并对废气的主要处理方法进行描述,分析了各种方法存在的特点;提出了废气处理方法的建议,从而达到减少资源浪费,降低生产成本的目的。
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