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期刊论文
多晶硅生产中废气的处理方法
多晶硅生产中废气的处理方法
来源 :化工管理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:myloft1d
【摘 要】
:
介绍了改良西门子法生产多晶硅过程中废气的来源和组成,并对废气的主要处理方法进行描述,分析了各种方法存在的特点;提出了废气处理方法的建议,从而达到减少资源浪费,降低生
【作 者】
:
翁博丰
【机 构】
:
陕西天宏硅材料有限责任公司
【出 处】
:
化工管理
【发表日期】
:
2015年26期
【关键词】
:
多晶硅
废气
改良西门子法
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介绍了改良西门子法生产多晶硅过程中废气的来源和组成,并对废气的主要处理方法进行描述,分析了各种方法存在的特点;提出了废气处理方法的建议,从而达到减少资源浪费,降低生产成本的目的。
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