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脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：proudboy_linux_wzh

【作 者】

：

苟伟，李剑锋，楚信谱，张礼平，李国卿，GouWei，LiJi 

【出 处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2008年z1期

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