【摘 要】
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研制了一种应用漂洗发射极晶体管和U型槽隔离技术的改进型肖特基晶体管逻辑电路(MSTL),它不仅具有标准STL高速度和ISL工艺简化的优点,与采用多晶硅发射极晶体管和氧化隔离技
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研制了一种应用漂洗发射极晶体管和U型槽隔离技术的改进型肖特基晶体管逻辑电路(MSTL),它不仅具有标准STL高速度和ISL工艺简化的优点,与采用多晶硅发射极晶体管和氧化隔离技术的MSTL比较,进一步简化了工艺,且能在微功耗下工作.实验表明,采用4μm的设计规则,在50μA的工作电流下,传输延迟时间为3.2ns,速度功耗乘积为0.24pJ,集成度为190门/mm~2.
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