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期刊论文
重掺磷硅单晶生长技术研究
重掺磷硅单晶生长技术研究
来源 :天津科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fjzxf
【摘 要】
:
在国产TDR-62硅单晶炉上,采用10英寸和12英寸热系统开展了重掺磷硅单晶生长研究,生长出了4英寸<111>晶向、电阻率1.0×10-3~1.8×10-3Ω·cm的重掺磷硅单晶。对重掺磷硅单晶的
【作 者】
:
刘锋
韩焕鹏
李丹
王富田
李方
王世援
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
天津科技
【发表日期】
:
2009年06期
【关键词】
:
硅单晶
重掺磷
位错
FPD缺陷
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在国产TDR-62硅单晶炉上,采用10英寸和12英寸热系统开展了重掺磷硅单晶生长研究,生长出了4英寸<111>晶向、电阻率1.0×10-3~1.8×10-3Ω·cm的重掺磷硅单晶。对重掺磷硅单晶的磷掺杂和电阻率控制技术及位错与微缺陷的产生机理进行了探讨。
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