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本文介绍标定PSD原理和方法及标定装置的组成,解决PSD无专用标定装置的问题,满足PSD全敏感面位置精度和线性标定的要求,使其具有全自动、高精度、多方法标定的特点.
光电位置敏感探测器标定装置设计
【摘 要】
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本文介绍标定PSD原理和方法及标定装置的组成,解决PSD无专用标定装置的问题,满足PSD全敏感面位置精度和线性标定的要求,使其具有全自动、高精度、多方法标定的特点.
【机 构】
：
63961部队
【出 处】
：
测试技术学报
【发表日期】
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2002年z1期
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