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以１９９６年到１９９４年的ＡＳＴＭ半导体键合金丝标准的演化过程为依据，详细说明了半导体键合金丝标准正随着其研制水平的提高而日趋充实和完善。我国金丝生产水平通过生产工艺改进，设备精化和环境净化等已经有可观的提高，而且正在着手修订现行的金丝标准。
ASTM半导体键合金丝标准的演化和我国金丝生产标准
【摘 要】
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以１９９６年到１９９４年的ＡＳＴＭ半导体键合金丝标准的演化过程为依据，详细说明了半导体键合金丝标准正随着其研制水平的提高而日趋充实和完善。我国金丝生产水平通过生产工艺改进，设备精化和环境净
【机 构】
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天津市有色金属研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1997年3期
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