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提出了一种有效的利用补偿元件抑制空间电荷效应所致脉冲展宽的方法。此元件为一轴对称的圆柱形空腔，金属侧壁和供脉冲输出的端面金属栅网接地以保持0电位，供脉冲进入空腔的端面小孔的内壁涂导电层并施以正电位，通过选择此端面的介电常数分布而在此端面上形成特定的电位分布。如此形成的补偿元件内部电场能够在不引入附加电子能量弥散的基础上，在空点电荷效应所致脉冲展宽极为严重的纵向和横向这两个主要方向上，均能够有效地抑制空间电荷效应，从而起到补偿电子脉冲展宽的作用。