【摘 要】
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纳米压入法是目前薄膜等小体积MEMS（micro-electro-mechanical system）材料力学性能评定广为使用的方法,其测试可靠性严重依赖于仪器校准及对各种误差影响因素的消除和修正。文
【机 构】
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机械制造系统工程国家重点实验室,西安交通大学精密工程研究所
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纳米压入法是目前薄膜等小体积MEMS（micro-electro-mechanical system）材料力学性能评定广为使用的方法,其测试可靠性严重依赖于仪器校准及对各种误差影响因素的消除和修正。文中以Oliver-Pharr数学评定模型为基础,对包括仪器柔度、压尖几何形状偏差、初始接触点位移、尺寸效应、基底、堆积和凹陷、蠕变、表面粗糙度等在内的薄膜弹性模量和硬度纳米压入测试时的若干关键影响因素进行分析。在此基础上,分别给出相应的处理办法和数据修正措施。研究表明,只有综合考虑这些因素的影响,方能获得准确
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