CZ单晶炉中碳和氧的产生及其对单晶硅生长的影响

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【摘要】

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以FerroTec集团生产的FT-CZ2008型单晶炉为研究对象,介绍CZ单晶炉的基本结构,阐述单晶硅的生长工艺.从单晶炉炉体结构和单晶硅的生产工艺及其他因素共3个方面分析该系统中影

【作者】

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曾建平

【机构】

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宁夏核工业地质勘查院

【出处】

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宁夏工程技术

【发表日期】

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2011年04期

【关键词】

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CZ单晶炉碳氧单晶硅

【基金项目】

：

西安隆基硅材料股份有限公司科技攻关基金资助项目(LJ110301-03)

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以FerroTec集团生产的FT-CZ2008型单晶炉为研究对象,介绍CZ单晶炉的基本结构,阐述单晶硅的生长工艺.从单晶炉炉体结构和单晶硅的生产工艺及其他因素共3个方面分析该系统中影响碳和氧生成的因素,并给出实验数据分析结果,得出碳和氧对单晶硅生产质量的影响程度,期望对企业进一步改进单晶炉结构、革新单晶硅生长工艺、提高单晶硅生产质量有所帮助.

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