超高速高精度模拟电路SOI上的5V互补SiGe BiCMOS技术

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技术概览第三代完全电介质绝缘的互补SiGe BiCMOS工艺(BiCom3)是针对超高速高精度模拟集成电路而设计的.上述器件的工作电压为5V,可在广泛的温度范围内工作,其fT的范围为15~20GHz,fmax的值在40~50GHz的范围,最小化了集电极到基板的寄生现象.
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