【摘 要】
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石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数（谐振振幅和谐振频率）对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
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石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数（谐振振幅和谐振频率）对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头。该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂谐振频率对扫描微力的敏感性,研制基于相位反馈控制的扫描探针显微镜。首先介绍石英音叉测头的构成、工作原理和特性测试,以及由该测头构建的扫描探针显微镜的结构和测试、分析。通过对测头和系统的测试结果分析,系统达到1.2 nm的垂直分辨率,并通过对一维栅的测量,给出扫描获得的试样表面微观形貌图
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