半导体制冷雾室是电感耦合等离子体质谱仪上广泛使用的器件,可以提高仪器的分析性能.将自研半导体制冷器件应用于电感耦合等离子体四极杆质谱仪,选取覆盖低、中、高质荷比的9Be、89y、115 In、138 Ba、140Ce和209Bi为研究对象,在雾室温度为0～20℃范围内考察了雾室温度对背景噪声、检出限、信号强度、氧化物产率、双电荷离子产率的影响.结果 表明,半导体制冷雾室开启后,随着雾室温度的降低,9Be、115 In和209Bi处的背景噪声分别下降51％、54％和29％;检出限随着雾室温度的降低呈现不同的趋势,9Be检出限随之降低,115 In和209Bi检出限呈低水平波动趋势;载气流速偏低时,随着雾室温度降低信号强度呈下降趋势;载气流速偏高时,随着雾室温度降低信号强度随之下降的幅度减小,或者信号强度呈上升趋势;在开启制冷后,进入等离子体的水分减少,138Ba和140Ce的氧化物产率分别下降23％和31％;水分减少引起等离子体温度升高,双电荷离子产率分别上升16％和15％.