<正>用拉曼光谱研究物质成功的关键在于以此为目的所使用的仪器。本工作中,我们集中于两个特别有关的课题。首先是关于拉曼光谱仪的近期发展,其次是关于用这些仪器研究半导体和表面沾污的分析。每一项专门研究都存在着感兴趣的分析要求,它们都已得到解决。本文论述两类仪器,其中每一种都能以传统的宏观方式或微观方式操作。最近已获得空间分辨约为1μm或更小。U-1000是一种扫描双单色仪,它的杂散光很弱,可在激发线附近工作,它的光谱分辨率高可研究具有很靠近的拉曼谱带的样品,它有多次扫描功能可研究低散射截面的样品或作慢速度的动力学研究。Mole拉曼微探针是一种多用途的三单色仪系统,它有二个相减的单色仪和一个色散的单色仪,装有光学显微镜并与光学多道分析仪联用,这台三单色仪系统也配有自动波长定标和计算机控制横坐标线性的软件,它使科学家们只须集中精力于所研究的问题而无须花精力对原始数据须做的修正工作。