【摘 要】
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最初认为金属间化合物“紫斑”是引起Au—Al焊接损坏的原因。在温度和应力条件下,金和铝之间扩散速度微差产生“Kirkendall空隙”。解决“Kirkendall空隙”缺陷满意的方法是
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最初认为金属间化合物“紫斑”是引起Au—Al焊接损坏的原因。在温度和应力条件下,金和铝之间扩散速度微差产生“Kirkendall空隙”。解决“Kirkendall空隙”缺陷满意的方法是单金属互连。因此芯片金属化选择了Au。这种用法通常要求热压焊。而设计要求—低尾端丝焊—必须采用金丝—单金属—超声焊。本文论述控制这种工艺的因素。
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