【摘 要】
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<正> 一、引言金属有机化合物(简称MO)的研制是当今最有发展前途的技术之一,MO最吸引人的特点是它的多样性,其种类几乎是无限的,每一种都具有独特的化学性质。MO的开发是作为
【机 构】
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化工部光明化工研究所,化工部光明化工研究所
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<正> 一、引言金属有机化合物(简称MO)的研制是当今最有发展前途的技术之一,MO最吸引人的特点是它的多样性,其种类几乎是无限的,每一种都具有独特的化学性质。MO的开发是作为化学反应催化剂开始的,迄今,虽已有几十年的历史,但还只是开端。1968年,美国Rockwell公司的Manasevit采用烷基镓和砷烷,首次在绝缘衬底上,用MOCVD工艺成功地制备了GaAs单晶薄膜,这是一个重大突破。随后,20年来,特别是近10年来,MO的研制和开发应用获得了较大
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