【摘 要】
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光刻机被称为人类最精密复杂的机器,业界将其誉为集成电路产业皇冠上的明珠。本文首先回顾了光刻机技术的发展历程,然后以阿斯麦公司为例,介绍了光刻机领军企业的发展历程,接
【机 构】
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武汉大学科学技术发展研究院,上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,海南省科技厅,科学技术部高技术研究发展中心,
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光刻机被称为人类最精密复杂的机器,业界将其誉为集成电路产业皇冠上的明珠。本文首先回顾了光刻机技术的发展历程,然后以阿斯麦公司为例,介绍了光刻机领军企业的发展历程,接着分析了促成其成功的诸多因素,具体包括模块化分工外包协同、适宜的产品更新和经营管理策略、官产学研协同,最后提出了我们的思考和建议。
Lithography is known as the most sophisticated human machine, the industry as the crown jewel of the integrated circuit industry. This paper first reviews the development history of lithography technology. Then, taking Asms Corporation as an example, introduces the development history of lithography machine leader, and then analyzes many factors that contributed to its success, including the modular division of labor outsourcing synergies, Appropriate product updates and management strategies, government-industry, academia and research collaboration, and finally put forward our thinking and suggestions.
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