提高激光打孔精度的研究

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为提高激光脉冲输出能量的重复精度,在电源设计中采用了予电离电路和提高充电精度的控制电路。在光学系统中采用了使照明光源成像在投射系统入瞳上的临界照明方式。同时,观察目镜设计成放大率为9倍的内调焦望远镜,使试样的观察表面处于打孔透镜的焦平面位置。试验表明:
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