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直线电机直驱XY平台数控系统的轮廓精度易受外界扰动，跟踪轨迹轮廓误差模型复杂等问题影响。采用极坐标误差法建立任意曲线的极坐标误差非线性模型并运用模糊积分滑模控制方法进行轮廓控制器的设计，通过模糊控制的逼近能力使滑模面在有限时间内趋近于零，削弓弓抖振的同时抑制外界扰动对系统性能的影响，使轮廓误差量趋近于零。仿真结果表明，所设计控制系统不失滑模鲁棒性的同时能有效地提高XY平台的轮廓精度。