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ZnO薄膜是继CaN材料之后的另一种具有应用前景的直接宽带隙半导体材料。针对目前对ZnO薄膜结构的分析，综述了ZnO薄膜结构表征的常用方法，着重分析了XRD在ZnO薄膜结构方面的应用。
ZnO薄膜结构表征的研究现状
【摘 要】
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ZnO薄膜是继CaN材料之后的另一种具有应用前景的直接宽带隙半导体材料。针对目前对ZnO薄膜结构的分析，综述了ZnO薄膜结构表征的常用方法，着重分析了XRD在ZnO薄膜结构方面的应用
【机 构】
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南昌大学材料科学与工程学院,南昌大学测试中心
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2005年F11期
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