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红外探测器湿法工艺关键设备制造r技术研究
红外探测器湿法工艺关键设备制造r技术研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhanghao2018
【摘 要】
:
介绍了红外探测器制造工艺流程,着重阐述了碲镉汞(HgCdTe)、锑化铟(InSb)红外焦平面探测器制造工去胶清洗、背面保护膜清洗、表面减薄工艺特殊性及湿法清洗技术重要性.结合红
【作 者】
:
张伟锋
亢喆
吴卿
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176中国电子科技集团公司第十一研究所,北京 100016;
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2020年4期
【关键词】
:
红外探测器
湿法清洗
无损伤擦洗
表面减薄
自动称重
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介绍了红外探测器制造工艺流程,着重阐述了碲镉汞(HgCdTe)、锑化铟(InSb)红外焦平面探测器制造工去胶清洗、背面保护膜清洗、表面减薄工艺特殊性及湿法清洗技术重要性.结合红外探测器基片材料软脆特性,重点论述无损伤超洁净擦洗技术、自动称重减薄腐蚀技术等设备制造关键技术.
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