论文部分内容阅读
气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、光导纤维制造中；并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。质量流量控制器的英文名字...
气体质量流量控制器的原理和应用
【摘 要】
：
气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、
【出 处】
：
真空
【发表日期】
：
1995年03期
其他文献
随着我国房地产行业的快速发展,对测绘工作水平也提出更高的要求。然而以往测绘工作开展中,所采用的方式多集中在手工制图等方面,效率较差,且制图质量难以保证,无法提供准确
一、积极引导,调动学生自身的非智力因素1.对学习要有兴趣。学生总体学习美术的兴趣不高,学习主动性不强,大多只按部就班完成老师的作业,几乎没有自己的思考,还常常会在学习
近年研究发现,青春发育提前会影响青少年的心理健康,且与一些成人不良健康结局有关,受到遗传因素、早期生活因素和不良经历的影响。儿童虐待指对18岁以下儿童的虐待和忽视行
[目的]探讨不同营养支持方式在神经外科重症监护病房(ICU)病人护理中的应用效果。[方法]选取我院神经科ICU 2018年6月—2019年5月收治的120例重症病人,采用随机数字表法将病
地铁作为现代化的城市交通工具,承担着越来越重要的运输任务。地铁车站相对封闭、人员密集、客流量大,因而在火灾等应急条件下对人员安全疏散有较高要求,人员能否在容许时间
基于我国道路货运物流创新发展的驱动机理,分析近年来我国道路货运物流发展过程中出现的物流创新形态,聚焦当前我国道路货运物流新业态,分析其发展现状以及存在的政策标准瓶
针对铝合金双层杯件的结构特点,提出了闭式冷挤压成形工艺方案,并研究了不同坯料形状对成形过程的影响。采用有限元模拟软件对双层杯件成形过程进行了数值模拟,比较分析了不
科学发展观是党的新一代领导集体推动经济建设必须长期坚持的根本指导方针，环境保护是贯彻科学发展观的重中之重。我国现行的环境保护法已不能适应科学发展观的需要，必须进行全