SOI像素探测器的COB组装工艺初步研究

来源 :核电子学与探测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:raulhanlin
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从子板PCB设计、芯片粘接、优化引线键合参数方面对SOI像素探测器的COB组装工艺做了初步研究。基板焊盘表面处理选用了电镀化学镍钯金的工艺,并对焊盘排布方式做了改进;芯片粘接选用了导电环氧树脂胶,探讨了水平定位误差和垂直定位误差对键合的影响及处理方法;通过反复试验和不断优化得出一套引线键合优化参数。对子板模块性能测试表明:其噪声和漏电流水平均保持在合理范围。COB组装技术可为后续的硅像素探测器芯片拼接提供技术支撑。
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