半导体器件内离子有效LET值测量方法研究

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【摘要】

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提出了一种基于电荷收集测试技术的离子有效LET值测量方法.首先对半导体器件内收集电荷量与人射离子有效LET值之间的关系进行了分析,根据二者之间的关系提出通过测量电荷收集

【作者】

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史淑廷郭刚刘建成蔡莉陈泉沈东军惠宁张艳文覃英参韩金华陈启明张付强殷倩肖舒颜

【机构】

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中国原子能科学研究院核物理所,国防科技工业抗辐照应用技术创新中心,北京102413

【出处】

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电子学报

【发表日期】

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2018年10期

【关键词】

：

单粒子效应电荷收集有效LET值 SRAM

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提出了一种基于电荷收集测试技术的离子有效LET值测量方法.首先对半导体器件内收集电荷量与人射离子有效LET值之间的关系进行了分析,根据二者之间的关系提出通过测量电荷收集量从而测量离子有效LET值的方法;然后建立了半导体器件电荷收集测试系统,利用PN结和SRAM对测量方法进行了验证;最后成功利用该方法解释了以往单粒子效应实验中出现的数据异常.

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