先进电子封装中的聚酰亚胺树脂

来源 :2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:esacjw
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综述了聚酰亚胺(PI)材料在集成电路制造和先进电子封装中的应用与发展情况。从聚酰亚胺封装材料的基础理论、发展现状、未来发展趋势等几个方面进行了详细的阐述。重点论述了ZKPI系列聚酰亚胺封装材料在芯片表面钝化、层间介电绝缘层膜以及应力缓冲涂层等方面的应用情况。
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