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先进电子封装中的聚酰亚胺树脂
先进电子封装中的聚酰亚胺树脂
来源 :2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:esacjw
【摘 要】
:
综述了聚酰亚胺(PI)材料在集成电路制造和先进电子封装中的应用与发展情况。从聚酰亚胺封装材料的基础理论、发展现状、未来发展趋势等几个方面进行了详细的阐述。重点论述了
【作 者】
:
刘金刚
何民辉
范琳
杨士勇
【机 构】
:
中国科学院化学研究所工程塑料国家重点实验室和高技术材料研究室,北京,100080
【出 处】
:
2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会
【发表日期】
:
2003年9期
【关键词】
:
集成电路
电子封装
封装材料
聚酰亚胺树脂
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综述了聚酰亚胺(PI)材料在集成电路制造和先进电子封装中的应用与发展情况。从聚酰亚胺封装材料的基础理论、发展现状、未来发展趋势等几个方面进行了详细的阐述。重点论述了ZKPI系列聚酰亚胺封装材料在芯片表面钝化、层间介电绝缘层膜以及应力缓冲涂层等方面的应用情况。
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