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提出了一种氧气沿面放电过程中臭氧合成的"双区模型",即氧分子离解区和与之分离的臭氧形成区.臭氧的产生率由离解区氧原子的产生效率和形成区氧原子转化为臭氧的效率决定.沿面放电中臭氧的产生率低电场时随电场升高而增大,高电场时随电场增大而减小.在氧气的击穿电场附近和低温条件下可以获得较高的臭氧合成效率.