平面磁研磨使用铁粉混合磨料的研究

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使用铁粉混合磨料对硬质材料的平面磁研磨方法,可大大提高研磨效率,降低磨料成本,并能得到表面粗糙度Rmax=0.05μm的超精密研磨的效果。
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