【摘 要】
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本文通过引入连续沉积连续溅射等概念，从理论上计算出离子泵抽速系数在弱磁场模式下的数值。
In this paper, by introducing the concepts of continuous deposition and co
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本文通过引入连续沉积连续溅射等概念，从理论上计算出离子泵抽速系数在弱磁场模式下的数值。
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