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微区感应加热作为一种局部加热技术,兼具热响应快、非接触及加热特性可控等优势,在微机电系统、微流控芯片等微纳系统领域的应用潜力巨大.介绍了微区感应加热的基本原理,系统阐述了微区感应加热在封装、驱动及材料生长等方向的研究进展,分析了待解决的关键问题,总结并指出了发展方向.
微纳系统微区感应加热技术的研究进展
【摘 要】
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微区感应加热作为一种局部加热技术,兼具热响应快、非接触及加热特性可控等优势,在微机电系统、微流控芯片等微纳系统领域的应用潜力巨大.介绍了微区感应加热的基本原理,系统阐述了微区感应加热在封装、驱动及材料生长等方向的研究进展,分析了待解决的关键问题,总结并指出了发展方向.
【机 构】
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厦门大学机电工程系,厦门,361005;航空工业自控所惯性技术航空科技重点实验室,西安,710065;西安交通大学机械工程学院,西安,710049
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2022年1期
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