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期刊论文
三氯化硼的提纯方法
三氯化硼的提纯方法
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leezero555
【摘 要】
:
<正> 二氯化硼除作为阳离子聚合催化剂和硼化合物的原料外,还用作半导体的掺杂剂或蚀刻剂,但要求纯度特别高。三氯化硼一般的合成方法有:(1)在高温下,将碳和氧化硼与氯进行氯
【作 者】
:
久保田芳宏
木村昇
朱心才
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
三氯化硼
四氯化硅
活性炭
冰冷却
提纯方法
微量杂质
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<正> 二氯化硼除作为阳离子聚合催化剂和硼化合物的原料外,还用作半导体的掺杂剂或蚀刻剂,但要求纯度特别高。三氯化硼一般的合成方法有:(1)在高温下,将碳和氧化硼与氯进行氯化反应;(2)在高温下,金属硼与氯进行氯化反应,
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