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振镜结构对精度和速度的影响
振镜结构对精度和速度的影响
来源 :应用激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ggqllm555
【摘 要】
:
从振镜的本体结构,使用材料和电容位置传感器三方面来讨论了对其精度和速度的影响
【作 者】
:
许亚平
陶霞虹
【机 构】
:
上海市激光技术研究所!上海; 200233;
【出 处】
:
应用激光
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
振镜
时间常数
稀土磁钢
电容位置传感器
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从振镜的本体结构,使用材料和电容位置传感器三方面来讨论了对其精度和速度的影响
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