溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响

来源 :福建师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:iamwoceo
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利用射频磁控溅射在BK-7玻璃基片上沉积掺铝氧化锌薄膜,研究溅射功率对薄膜光电性能的影响.当溅射功率从250W增加到400W时,X射线衍射的结果发现,250W制备的薄膜只有(002)衍射峰,而300W以上的样品则出现了新的(101)衍射峰;而且随着溅射功率的增加,(002)峰的强度减弱,(101)峰的强度增强.薄膜的厚度随溅射功率的增加而变厚,电阻率随溅射功率的增加而减小,从200W功率时的24.6×10^-4Ωcm减小到400W时的7.2×10^-4Ωcm.样品在可见光区域的平均光学
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